Specialty Coating
차별화된 내화학성/내플라즈마성 특수코팅을 통하여 고객의 가치를 창조하겠습니다.
| 공법 | NAD (Novel Advanced Deposition) |
PVD (Physical Vapor Deposition) |
|---|---|---|
| 개요 | 차별화된 Aerosol Deposition 공법 | 화학적 반응을 통한 Sputtering 공법 |
| 물질 | 이트리아 (Yttria), 알루미나 (Alumina), YAG (Yttrium Aluminum Garnet) 등 | |
| 특징 | 내화학성/내플라즈마성 우수 | |
| 응용 | 미세패턴 식각 공정 설비 부품 | |
| Porosity | (Near) Zero | |
| 단면 이미지 |  |
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